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RSP-8000型平板式PVD設(shè)備（含自動(dòng)化）
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RSP-8000型平板式PVD設(shè)備（含自動(dòng)化）

PVD又稱物理氣相沉積，用于高效異質(zhì)結(jié)（HJT)太陽(yáng)電池硅片的正反面濺鍍 ITO透明電薄膜。業(yè)內(nèi)最大跨度的量產(chǎn)型磁控濺射設(shè)備，可在一次工藝過(guò)程實(shí)現(xiàn)正反面的鍍膜。自動(dòng)上下料系統(tǒng)具備上料自動(dòng)外觀（破片、缺口、崩邊）檢測(cè)及下料PL檢測(cè)功能，產(chǎn)能達(dá)，穩(wěn)定性好。
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RSC-6000型異質(zhì)結(jié)PECVD設(shè)備（含自動(dòng)化）
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